ওয়েফার লিক ডিটেকশনের জন্য ড্রাই পাম্প হিলিয়াম লিক ডিটেক্টর SFJ-231D

ওয়াফারের ফুটো সনাক্তকরণের জন্য শুকনো পাম্প হিলিয়াম ফুটো ডিটেক্টর SFJ-231D

হিলিয়াম ফুটো সনাক্তকারী যন্ত্র SFJ-231D এর প্রযুক্তিগত পরামিতি

এসএফজে-২৩১ডি হিলিয়াম লিক ডিটেক্টরের প্রয়োগওয়েফারের জন্য

হিলিয়াম ম্যাস স্পেকট্রোমেট্রি ফুটো সনাক্তকরণ প্রযুক্তিতে, শুকনো পাম্প (তেল মুক্ত শুকনো ভ্যাকুয়াম পাম্প) এর প্রয়োগ প্রধানত পরিদর্শন করা সরঞ্জামগুলির কাজের অবস্থার উপর নির্ভর করে,হিলিয়াম ম্যাস স্পেকট্রোমেট্রি ফুটো সনাক্তকারী যন্ত্রের পরিচ্ছন্নতা এবং প্রযুক্তিগত প্রয়োজনীয়তা (ই).g. ওয়েয়াল SFJ-231D) ।

সনাক্তকরণ পদ্ধতিঃ ভ্যাকুয়াম স্প্রে হিলিয়াম পদ্ধতি (উচ্চ সংবেদনশীলতা মোড)

1: সিস্টেম ইভাকুয়েশন এবং বেসলাইন ক্যালিব্রেশন

বেস চাপে সরানঃ ইটিং চেম্বারঃ ≤0.1Pa (শুষ্ক পাম্প + আণবিক পাম্প সমন্বয়); সিভিডি / পিভিডি চেম্বারঃ ≤10−3 Pa (লেপ সরঞ্জামের জন্য উচ্চতর প্রয়োজনীয়তা) ।

ফুটো ডিটেক্টর ক্যালিব্রেশনঃ SFJ-231D ক্যালিব্রেশন এবং যন্ত্রের প্রতিক্রিয়া রৈখিকতা যাচাই করার জন্য একটি স্ট্যান্ডার্ড ফুটো রেফারেন্স (যেমন, 1 × 10−7 Pa·m3/s) ব্যবহার করুন।

ধাপ ২ঃ হিলিয়াম স্প্রে সনাক্তকরণ

সনাক্তকরণ এলাকাঃ ও-রিং গ্রুভ, বোল্ট হোল, ভিসিআর/ভিসিও ধাতব সিলিং, ওয়েড জয়েন্ট, সিরামিক আইসোলেটর, তামা গ্যাসকেট, বেল্লোস সংযোগ.

হিলিয়াম স্প্রে অপারেশনঃ

সনাক্তকরণ পয়েন্ট থেকে 3-5 মিমি দূরত্বে একটি হ্যান্ডহেল্ড হিলিয়াম স্প্রে বন্দুক (0.1 মিমি সূক্ষ্ম-নিয়ন্ত্রণের নল সহ) ব্যবহার করুন। 5 সেমি / সেকেন্ডের গতিতে সরান, প্রতি বিন্দুতে 2-3 সেকেন্ডের জন্য বসবাস করুন (এসএফজে -231 ডি প্রতিক্রিয়া সময় < 1 সেকেন্ড) ।হিলিয়াম চাপ 0 এ সামঞ্জস্য করুন.2-0.3MPa বায়ু প্রবাহের ব্যাঘাত এড়াতে।

ধাপ ৩ঃ ফুটো পয়েন্ট নির্ধারণ এবং রেকর্ডিং

ফুটোর হারঃ অর্ধপরিবাহী সরঞ্জামগুলির অনুমোদিত ফুটো হারঃ সাধারণত ≤1×10−9 Pa·m3/s (এসইএমআই মান অনুযায়ী) ।

তথ্য রেকর্ডিংঃ যখন এসএফজে-২৩১ডি একটি শীর্ষ ফুটো হার প্রদর্শন করে, তখন একটি হাইলাইটার পেন দিয়ে ফুটো পয়েন্ট চিহ্নিত করুন।

ফুটো হার কার্ভ এবং অবস্থান তথ্য সংরক্ষণ করুন (USB এর মাধ্যমে রপ্তানি করুন) ।

ধাপ ৪ঃ পুনরায় পরিদর্শন ও যাচাইকরণ

পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা নিশ্চিত করার জন্য চিহ্নিত ফুটোগুলিতে দ্বিতীয় হিলিয়াম স্প্রে করুন।

প্রধান ফুটোগুলি মেরামত করার পরে, বেস চাপে পুনরায় স্থানান্তর করুন এবং সম্পূর্ণ পুনরায় পরিদর্শন করুন।